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대형 LCD/OLED TV panel array의 박막 증착 기술 개발
  • 대형 LCD/OLED TV panel의 array용 전극 배선 형성을 목적으로 하는 장비 및 공정 개발
  • 공정 장비의 표준화, 박막의 경시변화와 target 사용효율의 개선 및 particle 저감 등의 양산 기술 개발
중소형 Mobile panel용 backplane의 배선 증착 기술 개발
  • 플라즈마 공간 내, sputtering 입자들의 전자기적 거동의 분석과 제어를 통해 국부적인 플라즈마의 변화에 따른 막질의 경시변화 제어에 관한 연구
  • 균일한 박막 조성 및 결정구조의 제어 기술 그리고 높은 신뢰성 산화물 반도체의 고온 증착기술 개발
전자기기용 투명도전박막의 증착 기술 개발
  • 진공 chamber 내의 새로운 전자기장의 제어 방식을 도임함으로써 이온화된 sputtering 입자들의 거동을 제어하는 연구와 함께 ITO의 sputtering 시에 발생하는 비 화학량론적 산화물의 저감 기술에 대한 개발을 진행
SMD
(Sputter Multi Display)
CMD
(Chemical Multi Display)
SIH
(Sputter in-line Horizon)

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